2026年6月9日，国产半导体建筑厂商华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）秘书，其自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP（化学机械抛光）量产装备——Master-P510APEX，得手取得先进封装领域病笃客户订单，行将进入客户端产线参加量产运用。

这象征着国产高端装备在先进封装中枢工艺上取得了又一重要性打破，有望为我国茁壮发展的Chiplet、FOPLP等前沿本事提供坚实的“自主制造底座”。

跟着摩尔定律放缓，通过先进封装杀青芯片的高密度集成，已成为接续半导体性能普及的重要旅途。而

然则，当封装基板从圆形的晶圆变为方形的面板时，工艺难度呈指数级飞腾。如安在510*515mm面板上，杀青整板纳米级的全局平坦化，是决定多层互畅通构可靠性与最终芯片良率的“命根子”。CMP工艺，恰是管束这一顾惜的中枢范例。

华海清科这次推出的Master-P510APEX全自动板级CMP量产装备，恰是为攻克这一“卡脖子”顾惜而考虑。

凭据官方信息，AG真人国际(中国)官方网站该装备专为板级封装的严苛工艺需求打造，具备以下中枢才调：

工艺性能不凡：或然满足板级封装居品的低弱势抛光条件，并兼顾优异的全板面均匀性与平坦化精度。

智能化进度高：集成先进的智能绝顶检测系统，复旧多种检测花式，工艺切换天真，可全自动闲隙开动。

范围化量产才调：当作国内首台行将进入客户端产线的同类装备，其考虑初志即是为了满足先进封装客户对高精度、高一致性、高良率的范围化量产需求。

华海清科暗示，这次打破，不仅是单一居品的得手，更是公司深切 “装备+职业”平台化发展计谋的病笃里程碑。它象征着其CMP装备中枢本事才调已得手从传统的晶圆级运用，延长至更重大的板级封装领域。

现在，华海清科已构建起遮掩CMP、减薄、离子注入、划切、边际抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保职业等重要范例的多元居品矩阵。这次取得首台板级CMP量产订单AG真人国际中国官网登录入口，将有劲股东变成竣工、自主的板级制造装备产业链生态，为中国半导体产业的自主可控补皆重要一环。